波新聞─李至文／高雄
你知道「音叉共振」、「摩擦力」這些日常物理現象，竟與最尖端的半導體技術息息相關嗎？國立高雄大學應用物理學系（應物系）副教授余進忠與高雄市楠梓高中教師蘇文健攜手，透過一系列實作課程，帶領學生探索如「奈米級薄膜量測」、「黃光微影」等半導體製程核心技術。更多學習成果將於本週四（22日）「2025高雄教育節」展出，邀請民眾前往「駁二蓬萊B6倉庫半導體展區」見證物理知識如何啟動科技未來。
余進忠表示，由於台積電晶圓22廠落腳高雄楠梓區，帶動鄰近高中、大學相繼開設半導體相關課程，高雄大學秉持在地共榮共好精神，並在「高教深耕計畫」經費支持，自2024年起，他接受楠梓高中校長郝靜宜邀請，協助開設「半導體製程探究與實作課程」及規劃「半導體實驗室」，並搭檔該校教師蘇文健共同授課。
余進忠說明，課程重點在於引導學生運用108課綱所學，理解半導體製程的實際現象。例如在鍍膜過程中，奈米級薄膜的厚度可由晶體共振頻率變化判定。他設計「音叉共振實驗」，結合手機APP與磁鐵模擬沉積質量變化，能感測0.02克變化，使學生從實作中掌握物理原理與製程關聯。
又如，半導體中的「黃光微影」製程，課程以光固化溶液為材料，搭配紫外光曝光與祥儀慈善文教基金會贊助的「科技寶積木式自製旋鋪機」，模擬光阻塗佈與固化。學生並運用摩擦力原理推導黏滯行為，再透過「膜厚量測」驗證「旋鋪模型」。余進忠指出，這些探究式實驗體現108課綱的跨域統整與實作精神，讓學生不只深化物理概念，更實際銜接高科技應用。
楠梓高中校長郝靜宜表示，感謝高雄大學副教授余進忠，與校內教師夥伴蘇文健、鄭夙芬及行政團隊，共同完成實驗室建置與課程推展。實驗室目前設備完備，包括頻率產生器、旋轉塗布機、抽氣幫浦、曝光機等，已能進行共振膜厚偵測、晶圓酸洗、光阻塗佈、抽真空、曝光顯影與蝕刻等多項基礎製程實驗。
郝靜宜說，楠梓高中自兩年前開設「數理實驗班」，結合理論與實作，培養學生邏輯思維與科學探究能力，並因應AI與半導體產業趨勢，轉型設立「AI半導體專班」，強化與大學合作，讓學生提前接觸前沿科技。科技教育須向下扎根，楠中致力打造符合未來趨勢的學習環境，讓學生在高中階段即可實作半導體實驗，奠定升學與職涯基礎。此次半導體實驗室的建置，不僅升級校內資源，更實質推動中等教育與產業接軌。
圖／高雄大學應物系副教授余進忠（立者右3）接受楠梓高中校長郝靜宜（立者右2）邀請，協助開設「半導體製程探究與實作課程」及規劃「半導體實驗室」，並搭檔該校教師蘇文健（立者右1）共同授課
